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真空溅射系统

Ultra High Vacuum Sputtering System

真空溅射系统 高真空溅射系统是一款可在最大300毫米基片上沉积金属与介质薄膜的设备。该系统采用磁控溅射靶源,可由射频、直流或脉冲直流电源驱动,支持单靶模式或共沉积模式运行。模块化结构使安装、运输与维护更加简便。机身采用冷轧钢经钣金成型与喷涂处理制成,内部为铝制框架,外罩为半透明灰色亚克力材质。控制屏幕的设计遵循人体工程学原则。

项目名称 : Ultra High Vacuum Sputtering System, 设计师的名字 : Yong Zhang, 客户姓名 : Huaiyin Institute of Technology & Liaoning Petrochemical University.

Ultra High Vacuum Sputtering System 真空溅射系统

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